[发明专利]叉指电容的制备方法及形成相邻的蒸镀图案的方法有效
| 申请号： | 201410475485.X | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104319098B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 薛光明;邓辉;田野;刘伟洋;徐晖凯;郑东宁;赵士平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;C23C16/06 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙)11391 | 代理人： | 范晓斌,郭海彬 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种叉指电容的制备方法及形成相邻的蒸镀图案的方法。包括用蒸镀材料形成的蒸气在衬底上形成指对；指对形成步骤包括在衬底上形成一腔室，腔室具有开口和由衬底提供的底壁；对衬底进行第一次蒸镀，使得蒸气沿第一方向进入腔室的内部并形成第一蒸镀膜，第一蒸镀膜的至少一部分形成在底壁上用于形成第一指；对衬底进行第二次蒸镀，使得蒸气经第二方向进入腔室内部并形成第二蒸镀膜，第二蒸镀膜的至少一部分形成在腔室的底壁上以用于形成第二指；第一方向和第二方向选择成使得第一蒸镀膜和第二蒸镀膜在衬底的底壁处横向间隔开。通过蒸镀时调控第一方向、第二方向与竖直面夹角，在避免手指短路的前提下实现了较小的手指间距。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 制备 方法 形成 相邻 图案 | ||
【主权项】：
一种叉指电容的制备方法，所述叉指电容包括第一电极(10)、第二电极(20)以及在所述第一电极(10)和所述第二电极(20)之间延伸的至少一个指对(30)，每一指对包括：沿纵向从所述第一电极(10)朝向所述第二电极(20)伸出的一个第一指(31)；以及沿纵向从所述第二电极(20)朝向所述第一电极(10)伸出并与所述第一指(31)横向间隔开的一个第二指(32)；所述制备方法包括指对形成步骤，用蒸发源提供的由蒸镀材料形成的具有方向性的蒸气在衬底(60)上形成所述指对(30)；所述指对形成步骤包括：腔室形成步骤：在所述衬底(60)上形成或提供一腔室(50)，所述腔室(50)具有开口(51)和由所述衬底(60)提供的底壁(40)；第一蒸镀步骤：用所述蒸气对所述衬底(60)进行第一次蒸镀，使得所述蒸气从所述蒸发源经由所述开口(51)沿第一方向进入所述腔室(50)的内部并形成第一蒸镀膜，所述第一蒸镀膜的至少一部分形成在所述底壁(40)上以用于形成所述第一指(31)；和第二蒸镀步骤：用所述蒸气对所述衬底(60)进行第二次蒸镀，使得所述蒸气经由所述开口(51)沿不同于所述第一方向的第二方向进入所述腔室(50)的内部并形成第二蒸镀膜，所述第二蒸镀膜的至少一部分形成在所述腔室(50)的所述底壁(40)上以用于形成所述第二指(32)；其中，所述第一方向和所述第二方向选择成使得所述第一蒸镀膜和所述第二蒸镀膜在所述衬底(60)的所述底壁(40)处横向间隔开。
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