[发明专利]一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环有效
| 申请号： | 201410474897.1 | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN105441896B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 吴心文 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司11278 | 代理人： | 包红健 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，所述夹具环内径为192.77mm‑193.05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190.64mm‑190.94mm。在金属溅射机的沉积腔中配置本发明的夹具环可以无需特别管控沉积腔功率大小即可生产0.35以及H30金属导线层第一层并有效避免了晶边的钛剥落问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 溅镀机 铝制 沉积 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，其特征在于，所述夹具环内径为192.77mm‑193.05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190.64mm‑190.94mm。
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