[发明专利]一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环

说明书

技术领域

本发明涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环。

背景技术

在使用金属溅镀机对晶圆进行溅射镀膜的加工过程中，由于0.35，H30产品晶边容易由于钛剥落问题形成微粒导致晶圆产品缺陷，此类产品金属导线层第一层需在金属溅镀机台使用内径为194mm的夹具环的沉积腔来生产，但使用内径为194mm的夹具环的沉积腔必须在部件功率大于200kwh时方可生产(正常保养周期为425kwh)。这就导致金属溅镀机产能调配复杂，例如在沉积腔部件功率小于200kwh则无法生产金属导线层第一层产品，需要整台停机用控片将部件功率跑到200kwh以上才可以继续生产。这就导致了机台管理复杂。由于机台数量固定，其所使用的夹具环分为内径194mm与197mm两种，对194mm夹具环需求的数量会影响到197mm夹具环的数量，从而影响整个金属溅镀机产能。在生产过程中需要每天统计各沉积腔部件功率大小，大于200kwh才可打开生产金属导线层第一层产品机限，导致了机限管理复杂。

在溅镀过程中腔体内部所有部件包括夹具环都会被溅镀到一些铝膜，当沉积腔部件功率逐渐变大时，内径为194mm的夹具环边缘被溅镀到的铝膜越来越厚，夹具环实际内径则变小，晶圆能被溅镀到的直径也变小。由于保养后换上新夹具环其内径还较大，这样夹具环压住的晶圆可溅镀的直径较大，晶边较容易被溅镀到铝膜，金属导线第一层在此时生产时会导致后续流程中产生钛剥落形成颗粒并产生产品缺陷。

发明内容

针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供了一种新型的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，可以在无需特别管控沉积腔功率大小即可生产0.35以及H30金属导线层第一层并有效避免了晶边的钛剥落问题。为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案如下：

一种用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环，包括夹具环本体和遮蔽部，所述遮蔽部成对地设置在所述夹具环本体的内边缘所在圆周直径的两端，所述夹具环内径为192.77mm-193.05mm，两个相对遮蔽部之间的遮蔽处内径为190.64mm-190.94mm；

进一步地，所述夹具环内径为192.77mm，所述遮蔽处内径为190.64mm；

进一步地，所述夹具环内径为192.77mm，所述遮蔽处内径为190.94mm；

进一步地，所述夹具环内径为193.05mm，所述遮蔽处内径为190.64mm；

进一步地，所述夹具环内径为193.05mm，所述遮蔽处内径为190.94mm；

进一步地，所述夹具环内径为192.80mm，所述遮蔽处内径为190.80mm。

本发明所取得的有益效果为：

1.有效减少了之前所需要的内径为194mm夹具环的配置数量，之前需要配置7-8个内径194mm夹具环的沉积腔采用了新的内径为192.8mm的夹具环后只需要配置3-4个即可，这样就增加了内径为197mm的夹具环的配置数量，方便产能调配并将产能最大化，方便了机台管理以及机限管理。

2.使用新夹具环后，0.35与H30金属导线第一层可直接生产，其他层全部在197mm夹具环上生产，极大方便了产能调配，机限管理以及保养管理。

3.使用现有的夹具环需要将沉积腔功率用控片跑到200kwh，对铝靶材有较大浪费，使用新夹具环后可极大降低铝靶材的费用。

附图说明

图1为本发明的用于金属溅镀机铝制程沉积腔的夹具环的结构图。

附图标记：1.夹具环本体；2.遮蔽部

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。