[发明专利]铝合金的表面合金化工艺在审
申请号: | 201410472958.0 | 申请日: | 2014-09-16 |
公开(公告)号: | CN104213097A | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 朱忠良 | 申请(专利权)人: | 朱忠良 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/52 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 潘登 |
地址: | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl4流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl4,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。本发明制得的涂层表面平整,致密度大,涂层硬度高,抗弯强度大,具有优异的综合性能。 | ||
搜索关键词: | 铝合金 表面 合金 化工 | ||
【主权项】:
一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl4流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl4,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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