[发明专利]一种电感耦合等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201410461134.3 | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105470087B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 谢小兵;黄智林;万磊;王俊;刘身健;梁洁 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感耦合等离子体处理装置，包括等离子体处理腔室，腔室顶部包括一个绝缘材料窗，一个加热线圈设置在绝缘材料窗上表面，所述加热线圈连接到一个加热电源；一射频线圈设置在所述加热线圈上方，所述射频线圈连接到一个射频电源；其特征在于所述加热线圈包括多个加热环路，所述射频线圈产生的磁场穿过所述多个加热环路，使得不同加热环路产生的感应电流互相抵消。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体处理装置，包括：等离子体处理腔室，腔室顶部包括一个绝缘材料窗，一个加热线圈设置在绝缘材料窗上表面，所述加热线圈连接到一个加热电源；一射频线圈设置在所述加热线圈上方，所述射频线圈连接到一个射频电源；其特征在于所述加热线圈包括多个加热环路，多个加热环路互相串联构成加热线圈,所述射频线圈产生的磁场穿过所述多个加热环路，使得不同加热环路产生的感应电流互相抵消；每个加热环路内包括位于第一侧的第一加热丝和位于第二侧的第二加热丝，每个加热环路中的第一加热丝与相邻加热环路的第二加热丝电连接；所述多个加热环路互相串联构成环形的加热线圈，每个加热环路的第一加热丝位于环形内侧，第二加热丝位于环形外侧；所述多个加热环路包括一个第一加热环路和一个第二加热环路，一个第一交叉加热丝连接在第一加热环路的第一加热丝和第二加热环路的第二加热丝之间，一个第二交叉加热丝连接在第一加热环路的第二加热丝和第二加热环路的第一加热丝之间；所述第一交叉加热丝与所述第二交叉加热丝之间未电连接。
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