[发明专利]固态图像传感器、其制造方法以及电子装置

摘要

一种固态图像传感器，包括：半导体基板，其中为平面设置的多个像素的每一个设置用于将光转换成电荷的光电转换区域；有机光电转换膜，通过绝缘膜层叠在该半导体基板的光照射侧，并且形成在其中形成所述像素的区域；下电极，形成在该有机光电转换膜的半导体基板侧且与该有机光电转换膜接触；第一上电极，层叠在该有机光电转换膜的光照射侧，并且形成为在平面上看该固态图像传感器时使该第一上电极的端部与该有机光电转换膜的端部基本上一致；以及膜应力抑制体，用于抑制膜应力在该有机光电转换膜上的作用，该膜应力产生在该第一上电极上。

主权项

1.一种固态图像传感器，包括：半导体基板，其中为平面布置的多个像素的每一个设置用于将光转换成电荷的光电转换区域；有机光电转换膜，隔着绝缘膜层叠在所述半导体基板的光照射侧，并且形成在形成所述多个像素的区域；下电极，形成在所述有机光电转换膜的半导体基板侧且与所述有机光电转换膜接触；第一上电极，层叠在所述有机光电转换膜的光照射侧，并且形成为使得在平面上看所述固态图像传感器时，所述第一上电极的端部与所述有机光电转换膜的端部一致；以及膜应力抑制体，用于抑制膜应力在所述有机光电转换膜上的作用，所述膜应力产生在所述第一上电极上，其中，所述膜应力抑制体是层叠在所述第一上电极的光照射侧的第二上电极，并且所述第二上电极形成所述第一上电极上，其所在区域大于形成有所述第一上电极的区域，以将所述第二上电极的外围区域连接到所述绝缘膜。