[发明专利]一种漆膜表面防静电的方法有效

专利信息
申请号: 201410449145.X 申请日: 2014-09-04
公开(公告)号: CN104264115A 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 李林;许旻;王洁冰;赵印中;吴春华;左华平 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/08;B32B33/00
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 仇蕾安;李爱英
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明提供一种漆膜表面防静电的方法,具体过程为:第一步,采用离子源对漆膜表面进行清洗,清洗时间控制在1min~10min之间;第二步,在漆膜表面镀制透明导电薄膜;所述镀制为:采用不同溅射速率分三次在漆膜表面进行透明导电薄膜的溅射沉积。本发明在漆膜表面通过溅射法制备了导电的透明薄膜材料,使漆膜具有了防静电的性能。
搜索关键词: 一种 漆膜 表面 静电 方法
【主权项】:
一种漆膜表面防静电的方法,其特征在于,具体过程为:第一步,采用离子源对漆膜表面进行清洗,清洗时间控制在1min~10min之间;第二步,在漆膜表面镀制透明导电薄膜;所述镀制为:采用不同溅射速率分三次在漆膜表面进行透明导电薄膜的溅射沉积;第一次沉积,沉积厚度控制在10nm~20nm之间,沉积速率控制在1nm/min~2nm/min之间;沉积后进行退火处理,退火温度控制在150℃~200℃之间,时间控制在5min~10min;第二次沉积,沉积厚度控制在20nm~50nm之间,沉积速率控制在2nm/min~5nm/min之间;沉积后进行退火处理,退火温度控制在150℃~200℃之间,时间控制在10min~15min;第三次沉积,沉积厚度控制在20nm~130nm之间,沉积速率控制在2nm/min~5nm/min之间;沉积后进行退火处理,退火温度控制在150℃~200℃之间,时间控制在15min~20min。
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