[发明专利]一种漆膜表面防静电的方法

权利要求书

1.一种漆膜表面防静电的方法，其特征在于，具体过程为：

第一步，采用离子源对漆膜表面进行清洗，清洗时间控制在1min～10min之间；

第二步，在漆膜表面镀制透明导电薄膜；所述镀制为：采用不同溅射速率分三次在漆膜表面进行透明导电薄膜的溅射沉积；

第一次沉积，沉积厚度控制在10nm～20nm之间，沉积速率控制在1nm/min～2nm/min之间；沉积后进行退火处理，退火温度控制在150℃～200℃之间，时间控制在5min～10min；

第二次沉积，沉积厚度控制在20nm～50nm之间，沉积速率控制在2nm/min～5nm/min之间；沉积后进行退火处理，退火温度控制在150℃～200℃之间，时间控制在10min～15min；

第三次沉积，沉积厚度控制在20nm～130nm之间，沉积速率控制在2nm/min～5nm/min之间；沉积后进行退火处理，退火温度控制在150℃～200℃之间，时间控制在15min～20min。

2.根据权利要求1所述漆膜表面防静电的方法，其特征在于，所述透明导电薄膜为氧化铟锡薄膜或氧化锌薄膜。

3.根据权利要求1所述漆膜表面防静电的方法，其特征在于，实现三次沉积的溅射为射频磁控溅射和直流脉冲磁控溅射。