[发明专利]涂布装置及涂布方法

摘要

本发明提供一种对基板有效率且有效地形成流动性材料的非涂布区域的涂布装置及涂布方法。涂布装置(1)在基板(P)上形成未涂布有机电致发光液(3)的非涂布区域。涂布装置(1)包括平台(21)，保持基板(P)；喷嘴单元(50)，朝向基板(P)的主面喷出有机电致发光液(3)；喷嘴移动机构(51)平台移动机构(26)，使喷嘴单元(50)相对于由平台(21)保持的基板(P)而在主扫描方向(X轴方向)及副扫描方向(+Y方向)上相对移动；以及掩模机构(6)，以与基板(P)的主面中的和非涂布区域对应的部分相向的方式配备掩模带(611)，并且使所述掩模带(611)配合基板(P)的移动而移动。

主权项

一种涂布装置，其特征在于，在基板上形成未涂布流动性材料的非涂布区域，所述涂布装置包括：保持部，保持基板；喷出部，朝向由所述保持部保持的所述基板的主面喷出所述流动性材料；移动机构，使所述喷出部相对于由所述保持部保持的所述基板相对地移动；以及掩模机构，以与由所述保持部保持的所述基板的主面中的和所述非涂布区域对应的部分相向的方式来配备掩模部，并且使所述掩模部配合所述基板在与平行所述主面的主扫描方向交叉的副扫描方向上的移动而移动；所述移动机构包括：喷出部移动机构，使所述喷出部在与由所述保持部保持的所述基板的主面平行的所述主扫描方向移动；以及保持部移动机构，使保持有所述基板的所述保持部在与所述主扫描方向交叉的所述副扫描方向上移动；并且所述掩模机构包括：带状的掩模带；送出部，将所述掩模带送出；卷绕部，将从所述送出部送出的所述掩模带卷绕；以及抵压部，将从所述送出部送出的所述掩模带抵压到所述基板；并且所述送出部配合由所述移动机构的所述保持部移动机构进行的所述基板在所述副扫描方向上的移动，而在所述副扫描方向上将所述掩模带送出。