[发明专利]一种光阴极材料光电子发射性能评测装置及其评测方法

摘要

本发明公开了一种光阴极材料光电子发射性能评测装置及其评测方法。本发明的评测装置包括真空腔室、真空抽气系统、真空度测量系统、光阴极组件、电源系统、光电子成像系统、数据采集系统、激光激发系统以及聚焦面镜。本发明通过在真空腔室内部设置聚焦面镜，聚焦面镜的焦点位于光阴极材料的表面，通过调节激光束的入射位置，实现激光入射角度的连续变化，并且可以改变激光的波长和偏振态，可原位测量得到光电子发射特性的全部参数。本发明的方法省去分立角度入射激光激发模式中频繁在真空腔室外部调节激光光路的一系列繁琐步骤，仅需要改变激光束的入射位置便可改变入射角度，且克服了分立角度入射带来的角度不连续问题。

主权项

一种光阴极材料光电子发射性能评测装置，其特征在于，所述评测装置包括：真空腔室、真空抽气系统、真空度测量系统、光阴极组件、电源系统、光电子成像系统、数据采集系统、激光激发系统以及聚焦面镜；其中，真空腔室的表面分别通过法兰口连接真空抽气系统和真空度测量系统；在真空腔室表面分别设置有机械安装法兰口和供电连接法兰口，光阴极组件通过机械安装法兰口进入真空腔室内，并安装在其内部的连接固定架上，在供电连接法兰口内设置有多个电极，电极的一端在真空腔室内，连接至光阴极组件，电极的另一端在真空腔室外部，与电源系统相连接；在真空腔室的表面与光阴极组件相对，通过观察窗法兰口安装光电子成像系统；在真空腔室内设置聚焦面镜，聚焦面镜的焦点位于光阴极组件中的光阴极材料的表面；在真空腔室的表面设置有激光入射法兰口，安装透明的材料形成入射窗口，位于真空腔室外的激光激发系统发出激光束通过入射窗口入射到聚焦面镜上反射，反射后汇聚到焦点；通过改变激光束的入射位置，调整入射至光阴极材料表面的角度。