[发明专利]一种基于单壁碳管的非易失性存储器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410444235.X | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN104332557B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 邓娅;张健;孙连峰 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 胡彬,路凯 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单壁碳管的非易失性存储器及其制备方法，属于存储器领域。该存储器包括基底；第一电极，形成于基底上，第一电极为金属材料，用于执行“读”功能；第二电极，形成于基底上，第二电极为铁磁性材料，用于执行“写”功能；第三电极，形成于基底上，第三电极为金属材料，用于执行“擦”功能；单壁碳管，单壁碳管的固定端固定在第一电极中，开口端悬空于第二电极上方；第二电极位于第一电极和第三电极之间，单壁碳管的长度足以使其弯曲后，单壁碳管的开口端与所述第二电极接触。本发明提供的基于单壁碳管的非易失性存储器具有尺寸小、发热少、能耗低、存储速度快、和寿命长的特点，从而提高集成电路和器件的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 单壁碳管 非易失性存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于单壁碳管的非易失性存储器，其特征在于，包括：基底；第一电极，形成于所述基底上，所述第一电极的材料为金属材料，用于执行“读”功能；第二电极，形成于所述基底上，所述第二电极的材料为铁磁性材料，用于执行“写”功能；第三电极，形成于所述基底上，所述第三电极的材料为金属材料，用于执行“擦”功能；单壁碳管，所述单壁碳管的固定端固定在所述第一电极中，所述单壁碳管的开口端悬空于所述第二电极上方；所述第二电极位于所述第一电极和第三电极之间，所述单壁碳管的长度足以使其弯曲后，所述单壁碳管的开口端与所述第二电极接触。
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