[发明专利]太阳能电池纹理化

摘要

通过印刷来自紧密间隔的平行长形管道的阵列的液体掩模材料使得mc‑Si晶片的部分通过限定于印刷掩模特征之间的开口暴露而产生具有图案化光俘获结构(例如，金字塔或沟槽特征)的多晶硅(mc‑Si)太阳能电池。使用管道的阵列(例如，微弹簧或直聚酰亚胺悬臂)获得紧密间隔的掩模图案特征，其中每个管道包括狭缝型、管型或脊/谷型液体引导通道，所述液体引导通道在管道的固定基端和尖端之间延伸使得从储存器供应的掩模材料从尖端精确地排出到mc‑Si晶片上。然后蚀刻暴露平面表面部分以形成期望图案化光俘获结构(例如，沟槽结构)。

主权项

一种用于在多晶硅晶片的平面表面上产生图案化光俘获结构的方法，所述方法包括：沿着多个紧密间隔的平行长形毛细管道传输液体掩模材料，使得所述掩模材料的一部分从每个所述管道的尖端部分排出;在所述多个管道的尖端部分下方移动所述多晶硅晶片，使得所排出的掩模材料部分在所述多晶硅晶片的平面表面上形成掩模图案，其中所述掩模材料图案被形成为使得通过所述掩模材料图案暴露部分所述平面表面; 和蚀刻暴露的平面表面部分，使得蚀刻的多晶硅晶片形成一体的图案化光俘获结构。