[发明专利]一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法无效
| 申请号： | 201410413314.4 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104233185A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 崔荣洪;何宇廷;伍黎明;杜金强;侯波 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 710071 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其包括以下步骤：1将金属基底放入PVD镀膜仪腔室，抽真空至小于6×10-3Pa；2向PVD镀膜仪腔室中通入惰性气体，至PVD镀膜仪腔室的真空度在0.3～1.3Pa为止；3对金属基体加负偏压100～300V，对金属基体进行惰性气体轰击清洗5～20min；4对金属基体加负偏压60～150V，以金属为靶材，启动弧电源，起弧并调整弧电流至50～80A，镀膜30～80min，在金属基体表面形成传感元膜层；5随炉冷至100℃以下，取出金属基体即可。通过该方法集成的PVD传感元结合强度高、耐磨损、耐腐蚀，能适应金属基体的工作环境，与金属基体同寿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pvd 传感 金属 基体 一体化 集成 方法 | ||
【主权项】：
一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，包括以下步骤：(1)将金属基底放入PVD镀膜仪的腔室，抽真空至小于6×10‑3Pa；(2)通过针阀向所述PVD镀膜仪的腔室中通入惰性气体，至所述PVD镀膜仪的腔室的真空度在0.3～1.3Pa为止；(3)对所述金属基体加负偏压100～300V，对所述金属基体进行惰性气体轰击清洗5～20min；(4)对步骤(3)所述金属基体加负偏压60～150V，以传感元材质金属为靶材，启动弧电源，起弧并调整弧电流至50～80A，进行PVD镀膜30～80min，在步骤(3)所述金属基体表面形成传感元膜层；(5)随炉冷至100℃以下，取出步骤(4)所述金属基体即可。
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