[发明专利]一种智能节能窗用二氧化钒基膜系及其制备方法在审
申请号: | 201410403361.0 | 申请日: | 2014-08-15 |
公开(公告)号: | CN104250068A | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 王少伟;刘星星;陆卫;俞立明;陈效双 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种智能节能窗用二氧化钒基膜系及其制备方法。该膜系包括功能层和减反保护层,其中功能层为掺杂二氧化钒薄膜,减反保护层为光学介质,如:二氧化硅、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝、五氧化二钽等,减反保护层可以是一层或多层。掺杂二氧化钒薄膜是通过溅射法在衬底上沉积一层掺杂的金属钒膜,把上述薄膜在真空条件下通氧退火得到相变温度接近室温的掺杂二氧化钒薄膜。然后在制备好的掺杂二氧化钒薄膜表面沉积一层光学介质层,提高薄膜可见光透过率并增强薄膜耐候性。该膜系根据气温智能地调节太阳光红外辐射的入射量,实现冬暖夏凉的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 智能 节能 窗用二 氧化 钒基膜系 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种智能节能窗用二氧化钒基膜系,其结构为在衬底(3)上依次有功能层(2)和减反保护层(1),其特征在于:所述的功能层(2)是掺杂比为0.5~4.0%掺杂二氧化钒薄膜,掺杂元素是W、Mo、AI、Ti、Nb或Ta,薄膜厚度为20~100nm;所述的减反保护层(1)是一层或多层的二氧化硅、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝或五氧化二钽光介质材料层。
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