[发明专利]一种智能节能窗用二氧化钒基膜系及其制备方法

权利要求书

1.一种智能节能窗用二氧化钒基膜系，其结构为在衬底(3)上依次有功能层(2)和减反保护层(1)，其特征在于：

所述的功能层(2)是掺杂比为0.5～4.0％掺杂二氧化钒薄膜，掺杂元素是W、Mo、AI、Ti、Nb或Ta，薄膜厚度为20～100nm；

所述的减反保护层(1)是一层或多层的二氧化硅、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝或五氧化二钽光介质材料层。

2.一种制备如权利要求1所述的智能节能窗用二氧化钒基膜系的方法，其特征在于包括以下步骤：

1)通过溅射的方法制备掺杂的金属钒膜，为了使得后续处理过程后膜系具有一定可见光透过率和红外调节特性，金属钒钨膜厚度控制在20～80nm；

2)采用真空通氧退火的方法把掺杂金属钒膜退火氧化成掺杂二氧化钒薄膜，薄膜厚度为20～100nm；

3)测试掺杂二氧化钒薄膜的透射谱和反射谱，通过软件提取掺杂二氧化钒薄膜的光学常数；

4)应用掺杂二氧化钒膜和光学介质的光学常数，设计智能窗用二氧化钒膜系，在软件中模拟各层厚度对膜系整体性能的影响；

5)通过溅射的方法制备掺杂的金属钒膜，膜层厚度依据模拟中性能优异的区段进行选择；

6)采用真空通氧退火的方法把金属钒钨膜退火氧化成掺杂二氧化钒薄膜；

7)通过溅射的方法在膜层表面沉积一层减反层，减反层厚度依据模拟中性能优异的区段进行选择。