[发明专利]一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极，其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央谐振子和半球壳式电极采用玻璃金属吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。

主权项

一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺，其特征在于，包括：一个长方体硅基底；一个半球壳式中央谐振子；八个半球壳式电极，所述电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极；其中，驱动电极与中央谐振子均为非接触，检测电极与中央谐振子均为非接触，且四个驱动电极的空间位置与四个检测电极的空间位置依次间隔分布，即驱动电极和检测电极依次分布排列，每两个驱动电极之间是一个检测电极，同样，每两个检测电极之间是一个驱动电极；中央半球谐振子、半球状驱动电极、半球状检测电极材料均为玻璃金属，采用玻璃吹制技术制作；四个所述驱动电极中的两个相对的驱动电极被施加交流电压时，由电容感应效应产生半球型谐振子在驱动模态的振动；当存在输入角速度时，半球型谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极处电容感应效应产生的敏感电信号进行信号检测；所述驱动模态和检测模态互相匹配。