[发明专利]一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法有效
| 申请号： | 201410390474.1 | 申请日： | 2014-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104197912B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;唐健;汪濙海;刘亚东;成宇翔;孙殿竣;邢亚亮;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691;G01C25/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银,郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括一个单晶硅基底、八个均匀分布式电极、一个微型半球谐振子、一个双端固定支撑柱和一个图形化盖板，其中所述双端固定支撑柱的下端通过沉积的方式与所述基底连接、上端通过键合的方式与所述图形化盖板连接；所述电极设置于所述基底的上表面，并均匀地分布在所述微型半球谐振子的周围；所述微型半球谐振子固定在所述双端固定支撑柱的底端。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作，通过截止层准确地控制支撑柱面积的大小。本发明可以稳定地固定微型半球谐振子，同时使陀螺的工作振动模态远离陀螺的倾斜、旋转以及支撑柱的变形等其他振动模态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 式硅基 微型 半球 谐振 陀螺仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪，其特征在于，包括：一个单晶硅基底；八个均匀分布式电极；一个微型半球谐振子；一个双端固定支撑柱；一个图形化盖板；其中：所述双端固定支撑柱的下端通过沉积的方式与所述基底连接、上端通过键合的方式与所述图形化盖板连接；所述电极设置于所述基底的上表面，并均匀地分布在所述微型半球谐振子的周围；所述微型半球谐振子固定在所述双端固定支撑柱的底端；所述双端固定支撑柱包括内层和外层，内层的材料为二氧化硅，外层的材料为氮化硅，内、外两层共同组成所述双端固定支撑柱；所述双端固定支撑柱的面积通过氮化硅截止层技术进行准确控制。
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