[发明专利]一种振膜的生产方法在审
| 申请号： | 201410381315.5 | 申请日： | 2014-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN105323698A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 刘泽宇;李志远;袁媛 | 申请（专利权）人： | 美特科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;陆彩霞 |
| 地址： | 215131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种振膜及其生产方法，所述振膜包括金属制成的环形振膜边缘、平面石墨烯薄膜制成的振膜薄膜，所述振膜薄膜与所述振膜边缘固定连接，由于本发明采用金属环与石墨烯薄膜制成振膜，能够提高振膜的灵敏度、强度，同时，将采用用CVD、PVD、曝光、显影等加工工艺，能够满足微型化生产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种振膜的生产方法，其包括以下步骤：1）在石墨烯薄膜上附着至少两个振膜环，所述振膜环的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆盖；2）沿着所述振膜环的外缘裁切所述石墨烯薄膜，得到至少两个振膜，所述振膜由所述振膜环组成的振膜边缘，裁切后的所述石墨烯薄膜组成振膜薄膜。
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