[发明专利]一种振膜的生产方法

权利要求书

1.一种振膜的生产方法，其包括以下步骤：

1）在石墨烯薄膜上附着至少两个振膜环，所述振膜环的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆盖；

2）沿着所述振膜环的外缘裁切所述石墨烯薄膜，得到至少两个振膜，所述振膜由所述振膜环组成的振膜边缘，裁切后的所述石墨烯薄膜组成振膜薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：步骤1）中所述石墨烯薄膜根据所述振膜环的形状冲切成至少两个部分相连的石墨烯薄膜单元，通过载具将所述振膜环固定附着到对应的所述石墨烯薄膜单元之上。

3.根据权利要求1所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：步骤1）中根据所述振膜环的形状制作至少两个部分相连的铜质的基底单元，采用化学气相沉积法在其表面生长得到至少两个部分相连的石墨烯薄膜单元，转移生长而成的部分相连的石墨烯薄膜单元并通过载具将所述振膜环固定附着到对应的所述石墨烯薄膜单元之上。

4.根据权力要求1所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：所述石墨烯薄膜可通过多次PVD或者CVD的方法实现石墨烯薄膜与真空镀膜的叠加组合。

5.根据权利要求1所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：所述振膜环与所述石墨烯薄膜的连接方式为化学气相沉积法或胶水粘合。

6.根据权利要求1所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：步骤1中的振膜环为铜环。

7.根据权利要求6所述的一种振膜的生产方法，其特征在于：所述步骤1）包括以下步骤：

a）在板状的铜基材的一个表面上采用化学气相沉积法附上石墨烯薄膜；

b）在铜基材的另一个表面上附上一层感光膜，根据振膜的形状以及需要的振膜环的宽度制作菲林片，将菲林片附在感光膜上方，并曝光；

c）去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，将铜基材放入蚀刻液中，腐蚀掉不需要的铜基材部分；

d）去掉剩下的感光膜，得到附着在石墨烯薄膜上的铜环。