[发明专利]一种振膜的生产方法

说明书

技术领域

本发明涉及扬声器领域，特别是一种振膜及其生产方法。

背景技术

振膜即振动的膜片，它的名字体现了其工作状态：振动，以及其某些物理特征：薄。其作为振动系统广泛应用于麦克风及扬声器。随着小型电子装置的发展，振膜的设计也趋向微型化。虽然现有的制造振膜的方法制得了具有比较满意的参数的振膜，但在灵敏度、强度、重量等方面仍需进一步改进和加强。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够是实现微型化生产及具有高灵敏度的一种振膜及其生产方法。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种振膜的生产方法，其包括以下步骤：

1）在石墨烯薄膜上附着至少两个振膜环，所述振膜环的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆盖；

2）沿着所述振膜环的外缘裁切所述石墨烯薄膜，得到至少两个振膜，所述振膜由所述振膜环组成的振膜边缘，裁切后的所述石墨烯薄膜组成振膜薄膜。

优选地，步骤1）中所述石墨烯薄膜根据所述振膜环的形状冲切成至少两个部分相连的石墨烯薄膜单元，通过载具将所述振膜环固定附着到对应的所述石墨烯薄膜单元之上。

优选地，步骤1）中根据所述振膜环的形状制作至少两个部分相连的铜质的基底单元，采用化学气相沉积法在其表面生长得到至少两个部分相连的石墨烯薄膜单元，转移生长而成的部分相连的石墨烯薄膜单元并通过载具将所述振膜环固定附着到对应的所述石墨烯薄膜单元之上。

优选地，步骤1）中所述石墨烯薄膜可通过多次PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）的方法实现石墨烯薄膜与真空镀膜的叠加组合，从而实现对石墨烯薄膜的改性。

优选地，所述振膜环与所述石墨烯薄膜的连接方式为胶水粘合。

优选地，步骤1中的振膜环为铜环，因为石墨烯具有自我修复的能力，当振膜环为铜环等其他可用于生长石墨烯的金属时，亦可透过化学气相沉积法(CVD)制程让铜环表面生长石墨烯，然后借助石墨烯自我修复能力（碳原子具有结合倾向）让石墨烯薄膜单元连接在一起。

进一步优选地，所述步骤1）包括以下步骤：

a）在板状的铜基材的一个表面上采用化学气相沉积法附上石墨烯薄膜；

b）在铜基材的另一个表面上附上一层感光膜，根据振膜的形状以及需要的振膜环的宽度制作菲林片，将菲林片附在感光膜上方，并曝光；

c）去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，将铜基材放入蚀刻液中，腐蚀掉不需要的铜基材部分；

d）去掉剩下的感光膜，得到附着在石墨烯薄膜上的铜环。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

由于本发明采用金属环与石墨烯薄膜制成振膜，能够提高振膜的灵敏度、强度，同时，将采用曝光、显影等加工工艺，能够满足微型化生产的需求。

附图说明

附图1为实施例一石墨烯薄膜示意图；

附图2为实施例一裁切前的振膜示意图；

附图3为本发明所制造的振膜示意图；

附图4为实施例二裁切前的振膜示意图

附图5为实施例三中菲林片图案示意图；

附图6为实施例三蚀刻后的石墨烯薄膜与铜环示意图。

以上附图中：1、振膜环；2、振膜薄膜；3、石墨烯薄膜单元；4、铜环；5、菲林片；6、石墨烯薄膜。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步描述：

实施例一：参见附图1-3所示，一种振膜的生产方法，其包括以下步骤：

a）石墨烯薄膜根据振膜环1的形状冲切成至少两个部分相连的石墨烯薄膜单元3（如附图1所示）；

b）通过载具将振膜环1固定附着到对应的石墨烯薄膜单元3之上（如附图2所示）；

c）沿着振膜环1的外缘裁切石墨烯薄膜，得到至少两个振膜，振膜包括振膜环1组成的振膜边缘，裁切后的石墨烯薄膜组成振膜薄膜2（如附图3所示）。