[发明专利]两种气体隔离式中部均匀分气喷淋装置

摘要

两种气体隔离式中部均匀分气喷淋装置，主要解决现有技术结构复杂、加工成本高等问题。它包括进气法兰、分气部件、扩散柱及喷气盘面部件。所述分气部件的上端焊接进气法兰，进气法兰上设置进气口与进气口A，进气口与分气部件的圆孔相通。上述进气口A与环形沟槽相通，扩散柱焊接在分气部件的孔A的位置上，使扩散柱的盲孔与孔A相通，进气法兰、扩散柱和分气部件就成为第一个部分，将第一部分与喷气盘面部件钎焊在一起，分气部件的孔与喷气盘面部件上的导气柱中的孔B一一相通，使分气部件与喷气盘面部件形成空腔。本发明通过设置的导气柱、扩散柱的作用，使多种工艺气体在装置中快速、均匀扩散并喷出喷淋装置的功能得以实现。缩短了多种工艺气体完全覆盖反应区域的时间，提高了产能。

主权项

两种气体隔离式中部均匀分气喷淋装置，包括进气法兰、分气部件、扩散柱及喷气盘面部件，其特征在于：所述分气部件的上端焊接进气法兰，进气法兰将环形沟槽封闭，上述进气法兰上设置进气口与进气口A，进气口与分气部件的圆孔相通，上述进气口A与环形沟槽相通，扩散柱焊接在分气部件的孔A的位置上，使扩散柱的盲孔与孔A相通，进气法兰、扩散柱和分气部件就成为第一个部分，将第一部分与喷气盘面部件钎焊在一起，使分气部件的孔与喷气盘面部件上的导气柱中的孔B一一相通，使分气部件与喷气盘面部件形成空腔；所述喷淋装置内部设有相互隔离的两个气体通道，两种气体的两个气体入口设置在分气部件的上端，所述的分气部件为圆形板状，在其内部设有交替相邻且长短不同的放射状若干气体通道，在所述交替相邻且长短不同的放射状的若干气体通道中，较长的气体通道由分气部件中心处开始延伸，较短的气体通道由稍远离分气部件中心处的位置开始延伸，所述的两种通道均延伸至分气部件的边缘，上述较长的气体通道与均匀设置在喷淋装置空腔内的若干扩散柱相连，较短的气体通道与喷气盘面中径向的成放射状不钻透的若干孔道相通，相通的位置在喷气盘面中径向的成放射状不钻透的若干孔道中部，相通的方法由在分气部件和喷气盘面部件之间设置的若干导气柱来连接实现。