[发明专利]处理氯硅烷废液的方法和系统

摘要

本发明公开了一种处理氯硅烷废液的方法和系统，氯硅烷废液含有三氯氢硅、四氯化硅、硅粉、聚合物和金属氯化物中的至少之一，该方法包括：(1)将氯硅烷废液进行蒸发处理，得到气态轻组分和蒸发后液，其中，气态轻组分含有三氯氢硅和四氯化硅，蒸发后液含有硅粉、聚合物和金属氯化物；(2)将气态轻组分进行冷凝处理，得到液态轻组分；(3)将液态轻组分进行精馏处理，得到塔顶气和塔釜液，其中，塔顶气含有三氯氢硅，塔釜液含有四氯化硅；(4)采用硅粉和氢气对塔釜液进行冷氢化处理，得到三氯氢硅；以及(5)采用石灰水对蒸发后液进行中和处理，得到渣液。该方法可以实现对氯硅烷废液的连续处理，并且可以有效避免管路的堵塞。

主权项

一种处理氯硅烷废液的方法，所述氯硅烷废液含有三氯氢硅、四氯化硅、硅粉、聚合物和金属氯化物中的至少之一，其特征在于，所述方法包括：(1)将所述氯硅烷废液进行蒸发处理，以便得到气态轻组分和蒸发后液，其中，所述气态轻组分含有三氯氢硅和四氯化硅，所述蒸发后液含有硅粉、聚合物和金属氯化物；(2)将所述气态轻组分进行冷凝处理，以便得到液态轻组分；(3)将所述液态轻组分进行精馏处理，以便得到塔顶气和塔釜液，其中，所述塔顶气含有三氯氢硅，所述塔釜液含有四氯化硅；(4)采用硅粉和氢气对所述塔釜液进行冷氢化处理，以便得到三氯氢硅；以及(5)采用石灰水对所述蒸发后液进行中和处理，以便得到渣液，其中，步骤(1)中，所述蒸发处理是温度为85～95摄氏度和压力为0.15～0.25MPa的条件下进行的，所述蒸发处理是在蒸发回收器中进行的，所述蒸发回收器包括：本体，所述本体内限定出蒸发空间，适于对所述氯硅烷废液进行蒸发处理；氯硅烷废液入口，所述氯硅烷废液入口设置于所述本体的顶部；氮气入口，所述氮气入口设置于所述本体的顶部；四氯化硅入口，所述四氯化硅入口设置在所述本体的顶部；气态轻组分出口，所述气态轻组分出口设置在所述本体的顶部；蒸汽进口，所述蒸汽进口设置于所述本体的侧壁上；蒸汽出口，所述蒸汽出口设置于所述本体的底部；以及蒸发后液出口，所述蒸发后液出口设置于所述本体的底部，所述蒸发回收器中液面高度为30～75v％，其中，在进行所述中和处理之前，预先向所述蒸发回收器中通入氮气和四氯化硅，以便将所述蒸发后液排出所述蒸发空间。