[发明专利]一种梯度成分设计的纳米复合刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410357899.2 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104131250A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;余东海;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;B32B9/04;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种梯度成分设计的纳米复合刀具涂层及其制备方法，在刀具基体表面采用物理气相沉积技术先涂覆一层氮化钛过渡层，然后通过弧靶电流的渐变调节，涂镀硅含量梯度增加的钛铝硅氮化物涂层，最后再涂镀一层富硅的钛硅氮涂层，其中氮化钛过渡层的厚度0.1～0.3微米，梯度变化钛铝硅氮层1～4微米，表面富硅钛硅氮层0.2～0.5微米；本发明涂层晶粒大小5～15nm，涂层总厚度1.3～4.8μm，涂层显微硬度25～40GPa，高温稳定性1100℃以上；使用本发明制成的刀具，其抗机械磨损性能和抗高温氧化性能均有大幅度提高，可以满足高速加工对刀具材料更好性能的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 成分 设计 纳米 复合 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种梯度成分设计的纳米复合刀具涂层，其特征在于：在刀具基体表面采用物理气相沉积技术先涂覆一层氮化钛过渡层，然后通过弧靶电流的渐变调节，涂镀硅含量梯度增加的钛铝硅氮化物涂层，最后再涂镀一层富硅的钛硅氮化物涂层，其中氮化钛过渡层的厚度0.1～0.3微米，梯度变化钛铝硅氮层1～4微米，表面富硅钛硅氮层0.2～0.5微米；其涂层配方按原子百分比配比如下：氮化钛过渡层：钛45～55 at.%，氮55～45 at.%；钛铝硅氮涂层：铝25～30at.%，钛20～25at.%，硅0～10at.%，氮45～47at.%；钛硅氮涂层：钛35～40at.%，硅8～12at.%，氮48～57at.%。
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