[发明专利]一种集成海水叶绿素微流芯片传感器及制作方法在审
| 申请号： | 201410357003.0 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104101588A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 赵强;刘世萱;王波;张可可;徐宇柘;闫星魁;王文彦 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;B01L3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种增强抗干扰能力、提高荧光的探测效率的集成海水叶绿素微流芯片传感器。技术方案是：其特征是由Si-PIN探测器（1）、6H-SiC/ITO/SiO2层（3）、反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）和镀膜反射镜（8）组成，其中，所述的Si-PIN探测器（1）、6H-SiC/ITO/SiO2层（3）、反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）、和镀膜反射镜（8）按从下到上的顺序连接。本发明还公开了其制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 海水 叶绿素 芯片 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种集成海水叶绿素微流芯片传感器，其特征是由Si‑PIN探测器 （1）、6H‑SiC/ITO/SiO2层（3）、反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）和镀膜反射镜（8）组成，其中，所述的Si‑PIN探测器 （1）、6H‑SiC/ITO/SiO2层（3）、 反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）、和镀膜反射镜（8）按从下到上的顺序连接。
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