[发明专利]一种集成海水叶绿素微流芯片传感器及制作方法

权利要求书

1.一种集成海水叶绿素微流芯片传感器，其特征是由Si-PIN探测器 （1）、6H-SiC/ITO/SiO2层（3）、反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）和镀膜反射镜（8）组成，其中，所述的Si-PIN探测器 （1）、6H-SiC/ITO/SiO2层（3）、 反射和焊接层（4）、LED芯片（5）、玻璃板（6）、PDMS微流通道（7）、和镀膜反射镜（8）按从下到上的顺序连接。

2.根据权利要求1所述的集成海水叶绿素微流芯片传感器，其特征在是所述反射和焊接层（4）上设置有多个相同波长的LED芯片（5），提高激发光源的强度。

3.根据权利要求1所述的一种集成海水叶绿素微流芯片传感器，其特征是所述反射和焊接层（4）上设置有多个不同波长的LED芯片（5），根据不同种类叶绿素的荧光激发特性，实现对多种叶绿素成分的同步探测。

4.根据权利要求1所述的一种集成海水叶绿素微流芯片传感器，其特征是所述玻璃板（6）和PDMS微流通道（7）组成了激光诱导荧光的反应池，用于增强系统对荧光信号的收集能力。

5.一种集成海水叶绿素微流芯片传感器的制作方法，其特征是包括下列步骤：

（1）紫外滤光层（6H-SiC/ITO/SiO2层）的制作：先利用化学气相沉积法在Si-PIN探测器上沉积150nm的SiO2膜层，作为绝缘和扩散势垒层；再利用磁控溅射技术溅射220nm的ITO膜层，作为LED发光管的导电和反射层；之后再溅射150nm的6H-SiC膜层，作为紫外光过滤层；

（2）LED芯片的剥离和传送：首先利用准分子激光束将LED芯片从蓝宝石沉底层上剥离下来，再把LED芯片传送至Si-PIN探测器的反射和焊接层上，并利用Pd-In焊料将LED芯片固定；

（3）二甲基硅氧烷（PDMS）微流通道及荧光反射镜的制作：先利用深度离子刻蚀技术制作0.05-1mm不同宽度的PDMS微流通道，提高探测效率；再在微流通道背面镀上一层特殊反射膜，用于将透射的荧光反射回探测器，增强荧光信号的收集能力和强度。