[发明专利]薄膜PZT结构的粘合增强在审
| 申请号： | 201410354090.4 | 申请日： | 2014-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN104218146A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | D·斯蒂阿迪;田伟;Y·P·金 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/053;G11B5/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 何焜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了薄膜PZT结构的粘合增强。一种例如用于盘驱动器的微型致动器，包括基底，基底上的夹层结构，以及基底和夹层结构上方的钝化层。该夹层结构具有由贵金属形成的下电极，压电层，以及由贵金属形成的上电极。该微型致动器进一步具有位于下电极和钝化层之间的下粘合层以及位于上电极和钝化层之间的上粘合层中的一个或两个。即该微型致动器可仅具有下粘合层，仅具有上粘合层，或同时具有下粘合层和上粘合层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 pzt 结构 粘合 增强 | ||
【主权项】：
一种微型致动器，包括：基底；基底上的夹层结构，所述夹层结构由包括贵金属的下电极、压电层、以及包括贵金属的上电极组成；以及钝化层，位于基底和夹层结构上方；所述微型致动器进一步包括以下一个或两个：下粘合层，位于下电极和钝化层之间；以及上粘合层，位于上电极和钝化层之间。
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