[发明专利]柔性薄膜晶体管及其制造方法有效
| 申请号： | 201410345617.7 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN105304719B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 陈郁仁 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜怡;阚梓瑄 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性薄膜晶体管及其制造方法，该柔性薄膜晶体管包括：柔性基板；栅极，设置于所述柔性基板之上；无机绝缘层，设置于所述栅极之上；有机导电层，设置于所述无机绝缘层之上；以及源/漏电极，设置于所述有机导电层之上。本发明的柔性薄膜晶体管可增强无机绝缘层的保护能力，有机导电层可有效起到缓冲的效应，避免栅极与源/漏电极间出现不正常导通，改善短路问题，从而提高柔性薄膜晶体管的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性薄膜晶体管，其特征在于，该柔性薄膜晶体管包括：柔性基板；栅极，设置于所述柔性基板之上；无机绝缘层，设置于所述栅极之上；有机导电层，设置于所述无机绝缘层之上；以及源/漏电极，设置于所述有机导电层之上。
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