[发明专利]CD-SEM装置的校正方法、应用CD-SEM装置的方法及CD-SEM装置

摘要

本申请公开了一种CD‑SEM装置的校正方法、应用CD‑SEM装置的方法及CD‑SEM装置。其中校正方法包括：步骤S1、获取SEM图形并采用设置在CD‑SEM装置内部的图形特征尺寸检测单元对SEM图形进行在线检测，以获取SEM图形的第一特征尺寸T1；步骤S2、将SEM图形输出，并采用设置在CD‑SEM装置外部的图形特征尺寸检测装置对SEM图形进行脱线检测，以获取SEM图形的第二特征尺寸T2；步骤S3、计算第一特征尺寸T1和第二特征尺寸T2之间的差值，获取偏差值；步骤S4、对比偏差值与SEM图形的特征尺寸的允许误差范围，以调整CD‑SEM装置各运行参数。上述校正方法能改善CD‑SEM装置的检测准确性。

主权项

1.一种CD‑SEM装置的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括：步骤S1、获取SEM图形并采用设置在所述CD‑SEM装置内部的图形特征尺寸检测单元对所述SEM图形进行在线检测，以获取所述SEM图形的第一特征尺寸T1；步骤S2、将所述SEM图形输出，采用设置在所述CD‑SEM装置外部的图形特征尺寸检测装置对所述SEM图形进行脱线检测，以获取所述SEM图形的第二特征尺寸T2；步骤S3、计算所述第一特征尺寸T1和所述第二特征尺寸T2之间的差值，获取偏差值；步骤S4、对比所述偏差值与所述SEM图形的特征尺寸的允许误差范围，如果所述偏差值超出所述SEM图形的特征尺寸的允许误差范围，则调整所述CD‑SEM装置各运行参数；以及重复步骤S1到步骤S4至所述偏差值位于所述SEM图形的特征尺寸的允许误差范围内；所述在线检测采用图形特征尺寸多次测量方法，所述脱线检测采用图形特征尺寸单次测量方法；所述图形特征尺寸多次测量方法中，在所述SEM图形上选取至少2～10组测量组，每组测量组中包括距离相等的2个测量点，获取与各所述测量点相应的信号，对应地将一组所述测量组中2个测量点所对应的信号之间的距离作为该组测量组的测量值，并将各所述测量值的平均值作为第一特征尺寸T1。