[发明专利]用于光刻机的汞灯分光装置及其操作方法在审
| 申请号： | 201410339740.8 | 申请日： | 2014-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105445928A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 黄昱嘉;杨靖哲;黄正义 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;黄艳 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机的汞灯分光装置，所述汞灯分光装置包括：至少一个汞灯；至少一个可动导光单元，每个可动导光单元均与所述至少一个汞灯中的一个汞灯对应，而且对应的汞灯发出的光线能够被可动导光单元改变方向而被引导至不同的光刻机。本发明还公开了一种用于光刻机的汞灯分光装置的操作方法。根据本发明，可以大大节省汞灯的消耗数量和消耗能量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 分光 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机的汞灯分光装置，其特征在于，所述汞灯分光装置包括：至少一个汞灯；至少一个可动导光单元，每个可动导光单元均与所述至少一个汞灯中的一个汞灯对应，而且对应的汞灯发出的光线能够被所述可动导光单元改变方向而被引导至不同的光刻机。
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