[发明专利]形成方法和基板有效
| 申请号： | 201410323975.8 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN104281010B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 辻田好一郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/02;H01L23/544 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及形成方法和基板。本发明提供了一种从在基板上形成的线图案形成检测标记的方法，包括第一步骤，决定基板上用于形成检测标记的第一区域和围绕第一区域的并且在其中禁止形成检测标记的第二区域；以及第二步骤，通过投影光学系统将图案投影到基板上，该图案包括用于部分地切割第一区域中的线图案以形成多个标记元素的第一切割图案以及用于去除第二区域中的线图案的去除图案，并且形成包括所述多个标记元素的检测标记。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种从在基板上形成的线图案形成检测标记的方法，包括：第一步骤，决定基板上用于形成检测标记的第一区域，和围绕第一区域的并且在其中禁止形成检测标记的第二区域；以及第二步骤，通过投影光学系统将图案投影到基板上，该图案包括用于在第一区域中在线图案延伸的方向上的多个位置处切割线图案以形成多个标记元素的第一切割图案以及用于去除第二区域中的线图案的去除图案，并且形成包括所述多个标记元素的检测标记。
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