[发明专利]一种高性能存储器化学抛光物在审
| 申请号： | 201410296799.3 | 申请日： | 2014-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104073172A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能存储器化学抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，纳米碳酸钙9-10份，二氯甲烷7-13份，苯甲醇5-10份，正戊烷1-9份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛2-3份，乙醛1-3份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯份，助溶剂1份，润湿剂1份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 存储器 化学抛光 | ||
【主权项】：
一种高性能存储器化学抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1‑3份，有机添加剂2‑5份，纳米碳酸钙9‑10份，二氯甲烷7‑13份，苯甲醇5‑10份，正戊烷1‑9份，三氯甲烷1‑3份，多聚甲醛2‑3份，乙醛1‑3份，乙二醛3‑9份，乙酸乙酯份，助溶剂1份，润湿剂1份，甲基三乙氧基硅烷14‑19份，钛酸酯偶联剂1‑2份，纳米银0.5份。
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