[发明专利]一种高性能存储器化学抛光物在审
| 申请号： | 201410296799.3 | 申请日： | 2014-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104073172A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 性能 存储器 化学抛光 | ||
技术领域
本发明涉及一种高性能存储器化学抛光物。
背景技术
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的 CMP 方法或商购的 CMP 组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种高性能存储器化学抛光物。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
一种高性能存储器化学抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，纳米碳酸钙9-10份，二氯甲烷7-13份，苯甲醇5-10份，正戊烷1-9份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛2-3份，乙醛1-3份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯份，助溶剂1份，润湿剂1份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。
本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
具体实施方式
实施例1
一种高性能存储器化学抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，纳米碳酸钙9-10份，二氯甲烷7-13份，苯甲醇5-10份，正戊烷1-9份，三氯甲烷1-3份，多聚甲醛2-3份，乙醛1-3份，乙二醛3-9份，乙酸乙酯份，助溶剂1份，润湿剂1份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。
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