[发明专利]平板电容位移传感器标定装置有效
| 申请号： | 201410290740.3 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104048588B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 张德福;郭抗;李显凌;李朋志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 平板电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域，为了克服现有技术中标定装置的标定行程小；不能进行连续的实时标定；并且传感器其标定精度有限的缺点；激光干涉仪发出的光通过微位移调整机构后入射到分光镜；分光镜安装到微位移调整机构上；参考反射镜和分光镜连接，并且与单轴激光干涉仪光轴在同一直线上；测量反射镜安装到微位移调整机构的导向机构左端，调节测量反射镜和分光镜的通光孔位于同一直线上；导向机构前端设有传感器被测面，平板电容位移传感器安装在传感器支撑座的中间；支撑座的两端分别安装到微位移调整机构两侧的凸台上；在驱动器的左端安装有驱动器推杆，该驱动器推杆顶推微位移调整机构的导向机构。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 电容 位移 传感器 标定 装置 | ||
【主权项】：
平板电容位移传感器标定装置，其特征是，激光干涉仪(1)发出的测量光束通过微位移调整机构(3)上的通光孔(3‑1)后入射到分光镜(4)处，分光镜(4)与分光镜支撑调节座(5)连接，分光镜支撑调节座(5)与微位移调整机构(3)上的分光镜支撑调节座接口(3‑2)连接；参考反射镜(6)和分光镜(4)连接，并且与激光干涉仪(1)光轴在同一直线上；测量反射镜(2)与测量反射镜支撑座(7)连接且安装到微位移调整机构(3)的导向机构(3‑3)的左端，调节测量反射镜(2)的通光孔和分光镜(4)的通光孔位于同一直线上，且垂直激光干涉仪(1)的光轴方向；微位移调整机构(3)的导向机构(3‑3)上设有传感器被测面(3‑4)，平板电容位移传感器(11)安装在传感器支撑座(8)的中间位置，且与传感器被测面(3‑4)相对应；传感器支撑座(8)的两端分别安装到微位移调整机构(3)两侧的凸台(3‑5)上；在驱动器(9)的左端安装有驱动器推杆(10)，该驱动器推杆(10)穿过微位移调整机构(3)上的导向孔(3‑6)后顶推微位移调整机构(3)的导向机构(3‑3)做单自由度直线运动。
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