[发明专利]用于生产多晶硅的反应器有效
| 申请号： | 201410289926.7 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105271241B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 江宏富;钟真武;陈文龙;王小军;吴锋;陈其国 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于生产多晶硅的反应器，其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口，其特征在于除了最外部靠近炉筒的电极外，每个电极在150mm~300mm处具有四个或五个其他的相邻电极和一个或两个相邻进气口和/或排气口，所述电极、进气口和排气口中心点组成的点阵按正三角形和/或近似正三角形点阵排列。本发明能够实现更密集的硅芯布置，提高了还原炉内热能利用率，实现了更均匀的流场分布，从而提高了每炉的多晶硅产量、改善了产品表面质量，并降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多晶 反应器 | ||
【主权项】：
1.一种用于生产多晶硅的反应器，其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口，其特征在于，除了最外部靠近炉筒的电极外，每个电极在R±0.1R处具有四个或五个其他的相邻电极和一个或两个相邻进气口和/或排气口，所述两两相邻的电极、进气口和/或排气口中心点组成的点阵按正三角形和/或近似正三角形点阵排列，且所述底盘上设有66对电极，其中R选自150㎜～300㎜；近似正三角形的三个内角为50°～70°之间的某个数值；以底盘为中心，电极形成内圈、次内圈、次外圈和外圈排布，其中内圈6对电极、次内圈18对、次外圈24对、外圈18对电极；除外圈硅棒外，所有电极均采用径向的规律搭接方式；所述底盘上均匀设有均匀布置的6个排气口和19个进气口，或所述底盘上均匀设有均匀布置的3个排气口和22个进气口。
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