[发明专利]一种OLED制备方法在审
| 申请号： | 201410288714.7 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN104091901A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴海东;马群 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开一种OLED制备方法，包括以下步骤：依次蒸镀多层有机薄膜，其中：在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前，包括：检测基板上的颗粒缺陷信息；当检测到颗粒缺陷存在时，通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。此种OLED制备方法在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前，增加检测基板上的颗粒缺陷信息的工艺环节，当检测到颗粒缺陷存在时，立即进行修复，能够在多层有机薄膜的形成过程中及时发现并修复颗粒缺陷，从而减少有机材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED制备方法，其特征在于，包括以下步骤：依次蒸镀多层有机薄膜，其中：在蒸镀一层有机薄膜之后和进行蒸镀下一层有机薄膜之前，包括：检测基板上的颗粒缺陷信息；当检测到颗粒缺陷存在时，通过缺陷修复工艺修复所述颗粒缺陷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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