[发明专利]一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台在审
| 申请号： | 201410277330.5 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104020327A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 顾吉;吴建伟;陈海波;陈嘉鹏;郑良晨;徐海铭 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 韩国胜;张海英 |
| 地址： | 214035 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，实现了将探针台应用与芯片辐照测试领域，所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台包括显微镜和探针台体，所述探针台体与显微镜分体设置，所述探针台体位于显微镜下方，所述探针台体包括防振基台，基台立柱，承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基台上，与显微镜分体设置的探针台体结构紧凑，体积小，质量轻，可带着其上固定的芯片进入辐照测试腔进行辐照试验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 剂量 辐照 试验 探针 | ||
【主权项】：
一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，包括探针台体、显微镜、固定支架和显示屏，其特征在于：所述显微镜和显示屏固定在固定支架上，所述探针台体单独的放置在显微镜正下方的固定支架的底座上，所述探针台体包括防振基台、基台立柱和承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述用于固定芯片的承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基座上。
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