[发明专利]局部区域形貌扫描的电化学检测方法无效

专利信息
申请号: 201410277284.9 申请日: 2014-07-07
公开(公告)号: CN104034765A 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 王巍;许立坤;隋永强;李相波;闫永贵 申请(专利权)人: 中国船舶重工集团公司第七二五研究所
主分类号: G01N27/26 分类号: G01N27/26;G01B7/28
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 苏雪雪
地址: 266071 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供了一种采用电化学检测装置进行局部区域形貌扫描的电化学检测方法,通过三维步进电机实现探针快速、长距离的控制,通过压电陶瓷传感器实现短距离的精密控制,利用双恒电位仪在测试样品上维持恒定电位,同时在测试探针上外加交流电位信号,通过数据采集模块获取样品局部区域的实部Zre、虚部-Zim、模值|Z|、相位角-Phase等电化学信号的三维空间分布的成像信息,并获得等效电路的各元件参数信息。其克服常规扫描电化学显微镜存在的信号弱、获得反馈电流密度信号难、检测信号单一等缺点,可以获得样品表面的局部微观阻抗分布特征,信息丰富,有利于研究解析样品的真实特性。
搜索关键词: 局部 区域 形貌 扫描 电化学 检测 方法
【主权项】:
采用电化学检测装置进行局部区域形貌扫描的电化学检测方法,其特征在于:所述电化学检测装置包括双恒电位仪、探针信号接收装置、锁相放大器、样品信号采集器、电解槽调水平旋钮、测试探针、样品固定台、参比电极、测试电解槽、电解槽上盖、对电极和计算机,所述探针信号接收装置包括三维步进电机和压电陶瓷传感器;通过三维步进电机实现探针快速、长距离的控制,通过压电陶瓷传感器实现短距离的精密控制,利用双恒电位仪在测试样品上维持恒定电位,同时在测试探针上外加交流电位信号,通过计算机上的数据采集模块获取样品局部区域的实部Zre、虚部‑Zim、模值|Z|、相位角‑Phase等电化学信号的三维空间分布的成像信息,并获得等效电路的各元件参数信息。
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