[发明专利]X射线光罩结构及其制备方法

摘要

本公开提供一种X射线光罩结构，包含一支撑基板，其为一体成型且具有至少一薄部，该至少一薄部由一墙部环绕；一顶层，设置于该支撑基板的该至少一薄部上，其中该顶层及该至少一薄部形成一堆叠薄膜；多个X射线吸收图案，设置于该至少一薄部上方的该顶层上；其中该至少一薄部及该墙部提供机械支撑予该顶层，且该堆叠薄膜提供机械支撑予该多个X射线吸收图案。本公开还提供一种X射线光罩结构的制备方法。本公开的X射线光罩结构由于采用该至少一薄部及墙部构成的一体成型的支撑基板，因而具有高精密度及高刚性。

主权项

一种X射线光罩结构的制备方法，包含：提供一支撑基板，具有一顶面及一底面；形成一顶层于该顶面及一底层于该底面，该底层具有一开口；局部去除该开口曝露的该支撑基板以形成至少一薄部于该支撑基板中；以及形成多个X射线吸收图案于该至少一薄部上方的该顶层上。