[发明专利]承载台、真空蒸镀设备及其使用方法有效
| 申请号： | 201410267442.2 | 申请日： | 2014-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN104046945A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴海东;马群;金泰逵 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种承载台、真空蒸镀设备及其使用方法，所述承载台包括：所述承载台上的多个间隔垫，所述多个间隔垫将所述承载台划分为多个区域，且当待处理基板放置在所述承载台上时，所述多个区域形成为多个密闭空间；以及与所述承载台连通的多个真空泵，所述多个真空泵中的每一个对应一个密闭空间，用于对所述密闭空间抽真空以使得所述基板的不同位置所受的大气压力与重力的合力一致。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 真空 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种承载台，其特征在于，所述承载台包括：所述承载台上的多个间隔垫，所述多个间隔垫将所述承载台划分为多个区域，且当待处理基板放置在所述承载台上时，所述多个区域形成为多个密闭空间；以及与所述承载台连通的多个真空泵，所述多个真空泵中的每一个对应一个密闭空间，用于对所述密闭空间抽真空以使得所述基板的不同位置所受的大气压力与重力的合力一致。
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