[发明专利]用于高射频功率导体蚀刻系统的锤头TCP线圈支架

摘要

本发明提供了用于高射频功率导体蚀刻系统的锤头TCP线圈支架。本发明提供了一种室，所述室具有设置在所述室的天花板上的陶瓷窗口。所述室包括陶瓷支架，所述陶瓷支架具有从中心区延伸到外周的多根辐条，所述辐条中的每根包括在背离辐条的轴的方向上使所述陶瓷支架径向扩展的锤头形状。还包括设置成穿过所述陶瓷支架的多个螺钉孔。所述多个螺钉孔被限定为使螺钉能连接到具有内线圈和外线圈的TCP线圈。外线圈将设置在每根辐条的锤头形状下方，并且径向间隙被限定在每个锤头形状之间。径向间隙绕着外线圈限定不连续的环。多个螺钉设置成穿过螺钉孔，用于连接TCP线圈。

主权项

一种包括衬底支架的等离子体处理系统，其包括：室，其用于当衬底设置在所述室的所述衬底支架上时对所述衬底进行等离子体处理，所述室具有定向在所述衬底支架上方的陶瓷窗口；由内线圈和外线圈限定的变压器耦合等离子体线圈，所述变压器耦合等离子体线圈设置在所述陶瓷窗口上方；设置在所述变压器耦合等离子体线圈上方的陶瓷支架，所述陶瓷支架包括从中心区延伸到外周的多根辐条，所述辐条中的每根包括在背离辐条的轴的方向上使所述陶瓷支架径向扩展的锤头形状；以及将变压器耦合等离子体线圈连接到所述陶瓷支架的多个螺钉，其中连接到所述外线圈的至少成对的螺钉在径向上彼此偏置，并且所述成对的螺钉之一设置在所述锤头形状中；其中所述陶瓷支架使用所述多个螺钉将所述变压器耦合等离子体线圈支撑在所述室的所述陶瓷窗口上方。