[发明专利]校正平台标尺的方法有效
| 申请号： | 201410256220.0 | 申请日： | 2014-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104236407B | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 黄成在;金玟秀;李容勳;金载宪 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B3/04 | 分类号： | G01B3/04;G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种校正平台标尺的方法，其包含测量平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从一端朝向另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；通过使用一端和另一端的变形量计算将要应用于平台的移动量计算的标度因子；以及通过应用计算出的标度因子计算平台的移动控制值和位置校正值。本发明提供的方法即使在平台标尺变形时也将平台移动到精确位置。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 平台 标尺 方法 | ||
【主权项】：
一种校正平台标尺的方法，其特征在于包括：测量所述平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从所述一端朝向所述另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；通过使用所述一端的变形量和所述另一端的变形量计算将要应用于所述平台的移动量计算的标度因子；以及通过应用计算出的所述标度因子计算所述平台的移动控制值和位置校正值，所述测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量通过以下方式执行：在所述平台移动之前在所述平台标尺的所述纵向方向上的所述平台的一个轴上形成第一标记和第二标记；在平台从所述平台标尺的所述一端朝向所述另一端移动设定距离之后，检查所述平台的所述第一标记和所述第二标记的位置；将检测到的所述第一标记和所述第二标记的位置与移动之前先前测量到的标记位置相比较；以及测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量。
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