[发明专利]校正平台标尺的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种校正平台标尺的测量值的方法，所述标尺测量安装在衬底上的平台的移动量，并且具体而言，涉及一种无论平台标尺的如何变形允许执行精确测量的校正平台标尺的方法。

背景技术

作为一种在衬底上留下特定图案的方法，存在有喷墨或激光束照射方案。

光束图案化方法可以通过(激光)束照射在衬底上的希望位置处留下特定图案。因此，频繁地使用光束图案化方法，因为所述方法可以精确且快速地应用于较大区域。

如在第2012-0131338号韩国专利申请公开案中所揭示，典型的激光图案化设备包含：处理室；安装在处理室内部的平台，所述平台支撑衬底并且在处理进行方向上横向移动衬底；以及安装在处理室的顶部部分上的发射激光束的激光模块。加载到激光图案化设备的处理室中的衬底可以由来自处理室中的激光模块的激光束进行照射并且在其上的希望位置处进行图案化。

对于通过此种激光束照射的图案化处理，衬底安装在处理室中的衬底传递部分的平台上并且在激光模块的下部部分中往复运动。然而，当处理进行并且平台与受到控制的移动距离相比过度或较少地移动时，图案化目标区域偏离希望区域，并且图案化在不希望的区域上执行。这是因为平台标尺在处理中通过例如周围的热源等各种原因引起的变形而发生。

举例来说，当假定平台需要移动四个单位标度并且平台标尺维持标准形状而不发生变形时，如图1A中所示，平台精确地移动四个单位标度。平台驱动模块移动平台并且通过编码器121读取平台标尺10的标度，并且移动所述平台直到从平台标尺10中读取的标度变化为4那么大为止。

然而，当平台标尺由于热诱因或机械诱因而发生变形同时处理进行时，平台不以设定移动距离移动并且出现误差。举例来说，当平台标尺的一端具有加热部分时，如图1B中所示，平台标尺10′的长度延伸，平台标尺10′也延伸并且具有与实际标度相比拉长的标度。因此，即使所述平台将要移动4个单位标度，标尺的长度与真实的标度相比也是拉长的，这是因为在通过平台标尺的编码器读取的标度中出现误差。也就是说，即使读取标度的变化量为4，那么平台实际上移动的距离也对应于5.4，而这不是对应于4个单位标度的设计距离。因此，与4相比平台移动地更多。

因此，根据平台标尺的变形而产生的平台的移动量误差使得光束照射在偏离设计的图案化区域的区域上。

发明内容

本发明提供即使在平台标尺变形时也将平台移动到精确位置的方法。

本发明还提供一种根据平台标尺的变形校正平台的移动量误差的方法。

根据一个示例性实施例，一种校正平台标尺的方法包含：测量平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从一端朝向另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；通过使用一端和另一端的变形量计算将要应用于平台的移动量计算的标度因子；以及通过应用计算出的标度因子计算平台的移动控制值和位置校正值。

一端的变形量的测量可以通过以下方式执行：在平台移动之前在平台标尺的纵向方向上的一个轴上形成第一标记和第二标记、在平台以设定距离从平台标尺的一端朝向另一端移动之后检查平台的第一标记和第二标记的位置、将检查到的第一标记和第二标记的位置与移动之前先前测量到的标记位置相比较，并且测量一端和另一端的变形量。

一端变形量的测量可以包含：在平台移动之前在平台标尺的纵向方向上的一个轴上形成第一标记和第二标记；测量第一标记和第二标记的位置并且获得作为第一参考标记坐标和第二参考标记坐标的位置；将平台从平台标尺的一端朝向另一端移动设定距离；测量在移动后的平台上的第一标记和第二标记的位置并且获得作为第一移动标记坐标和第二移动标记坐标的测量到的位置；通过在平台标尺的纵向方向上将设定距离添加到第一参考标记坐标中而计算第一计算标记坐标，并且通过在平台标尺的纵向方向上将设定距离添加到第二参考标记坐标中而计算第二计算标记坐标；以及通过从第一移动标记坐标中减去第一计算标记坐标而计算一端的变形量，并且通过从第二移动标记坐标中减去第二计算标记坐标而计算另一端的变形量。

标度因子的计算可以包含通过使用变形量差值计算标度因子，变形量差值是从另一端的变形量中减去一端的变形量获得的。

标度因子的计算可以包含：计算从另一端的变形量中减去一端的变形量获得的变形量差值；通过从设定距离中减去变形量差值计算实际移动距离值；以及通过将实际移动距离值除以设定距离计算标度因子。

计算出的标度因子的应用可以包含：当平台移动时，通过采用以平台移动命令值乘以标度因子获得的值作为平台的移动控制值来移动平台。