[发明专利]校正平台标尺的方法

权利要求书

1.一种校正平台标尺的方法，其特征在于包括：

测量所述平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从所述一端朝向所述另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；

通过使用所述一端的变形量和所述另一端的变形量计算将要应用于所述平台的移动量计算的标度因子；以及

通过应用计算出的所述标度因子计算所述平台的移动控制值和位置校正值，

所述测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量通过以下方式执行：在所述平台移动之前在所述平台标尺的所述纵向方向上的所述平台的一个轴上形成第一标记和第二标记；在平台从所述平台标尺的所述一端朝向所述另一端移动设定距离之后，检查所述平台的所述第一标记和所述第二标记的位置；将检测到的所述第一标记和所述第二标记的位置与移动之前先前测量到的标记位置相比较；以及测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量包括，

在所述平台移动之前在所述平台标尺的所述纵向方向上的所述平台的所述一个轴上形成所述第一标记和所述第二标记；

测量所述第一标记和所述第二标记的位置并且获得所述位置作为第一参考标记坐标和第二参考标记坐标；

将所述平台从所述平台标尺的所述一端朝向所述另一端移动所述设定距离；

测量移动后的所述平台上的所述第一标记和所述第二标记的位置并且获得测量到的所述位置作为第一移动标记坐标和第二移动标记坐标；

通过将所述设定距离添加到所述平台标尺的所述纵向方向上的所述第一参考标记坐标中而计算第一计算标记坐标，并且通过将所述设定距离添加到所述平台标尺的所述纵向方向上的所述第二参考标记坐标中而计算第二计算标记坐标；以及

通过从所述第一移动标记坐标中减去所述第一计算标记坐标而计算所述一端的变形量，并且通过从所述第二移动标记坐标中减去所述第二计算标记坐标而计算所述另一端的变形量。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述测量所述第一标记和所述第二标记的所述位置包括：通过使用视觉CCD传感器摄像机测量所述第一标记和所述第二标记的所述位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述计算所述标度因子包括：通过使用变形量差值计算所述标度因子，所述变形量差值是从所述另一端的变形量中减去所述一端的变形量获得的。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于所述计算所述标度因子包括：

计算从所述另一端的变形量中减去所述一端的变形量获得的所述变形量差值；

通过从所述设定距离中减去所述变形量差值计算实际移动距离值；以及

通过将所述实际移动距离值除以所述设定距离计算所述标度因子。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述应用计算出的所述标度因子包括：当所述平台移动时，通过采用以平台移动命令值乘以所述标度因子获得的值作为所述移动控制值来移动所述平台。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述应用计算出的所述标度因子包括：当测量所述平台的移动量时，采用通过在移动后的所述平台的位置处读取的所述平台标尺的标度值乘以所述标度因子获得的值作为所述位置校正值。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述平台的所述移动控制值和所述位置校正值通过以下方式计算：使用在处理进行中通过执行所述测量所述变形量和所述计算所述标度因子而更新的所述标度因子。