[发明专利]耦合窗的加热装置及应用其的反应腔室

摘要

本发明提供一种耦合窗的加热装置及应用其的反应腔室，其包括边缘加热单元和中心加热单元，二者分别对应于耦合窗的边缘区域和中心区域进行加热，其中，中心加热单元包括环形护板，其设置在耦合窗的外围，且围绕形成一空气循环空间；加热罩，其设置在耦合窗的上表面上，且与该上表面的中心区域形成一加热空间，并且在加热罩上设置有出气孔，用以将加热空间与空气循环空间连通；空气循环机构，其用于抽取和加热空气循环空间内的空气，并将加热后的空气输送至加热空间内。本发明提供的耦合窗的加热装置，其不仅可以实现对耦合窗的均匀加热，而且还可以保证等离子体的正常启辉。

主权项

一种耦合窗的加热装置，其包括边缘加热单元和中心加热单元，二者分别对应于所述耦合窗的边缘区域和中心区域进行加热，其特征在于，所述中心加热单元包括：环形护板，其设置在所述耦合窗的外围，且围绕形成一空气循环空间；加热罩，其设置在所述耦合窗的上表面上，且与该上表面的中心区域形成一加热空间，并且在所述加热罩上设置有出气孔，用以将所述加热空间与所述空气循环空间连通；空气循环机构，其用于抽取和加热所述空气循环空间内的空气，并将加热后的空气输送至所述加热空间内。