[发明专利]一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：(1-x)Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃-x(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶，依次在Pt/Ti/SiO₂衬底上通过旋涂法涂覆，制备BZT-xBCT梯度厚膜，经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致，兼具薄膜与体材料的优点，可与半导体工艺兼容。

主权项

一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，其特征在于，使用旋涂法依次涂覆不同钛锆酸钡和钛酸钡钙比例的锆钛酸钡钙溶胶，制备梯度厚膜，具体包括如下步骤：步骤1、以化学通式(1‑x)Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃‑x(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃为依据，其中x=0.6，按化学通式中的比例称取乙酸钡、一水乙酸钙、钛酸四丁酯、硝酸氧锆，溶于冰醋酸、乙二醇甲醚和去离子水中，制得BZT‑0.6BCT溶胶； 步骤2、以化学通式(1‑x)Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃‑x(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃为依据，令x=0.55，0.5，0.45，0.4，参照步骤1分别配置BZT‑0.55BCT溶胶、BZT‑0.5BCT溶胶、BZT‑0.45BCT溶胶、BZT‑0.4BCT溶胶；步骤3、将步骤1所述BZT‑0.6BCT溶胶旋涂到Pt/Ti/SiO₂基底上，进行中间热处理降温后，在中间处理得到的膜上继续旋涂步骤2所述BZT‑xBCT溶胶，进行中间热处理，降温后重复涂膜直至最后一层旋涂；步骤4、将步骤3所述旋涂至最后一层的湿膜进行最终热处理，得到锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜。