[发明专利]一种低温碱性浸泡液及其制备方法在审
| 申请号： | 201410217441.7 | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN105087191A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 肖振友 | 申请（专利权）人： | 无锡华友微电子有限公司 |
| 主分类号： | C11D10/02 | 分类号： | C11D10/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温碱性浸泡液及其制备方法，其中，所述低温碱性浸泡液由如下质量百分比的组分组成：氢氧化钾10-20％，乙二醇丁醚5-15％，表面活性剂2-6％，其余为纯水；其制备方法为：依次向配料罐中加入纯水、氢氧化钾、乙二醇丁醚、和表面活性剂，搅拌均匀后得到混合物溶液，最后将混合物溶液通入过滤器中过滤，最终得到本发明的所述低温碱性浸泡液。本发明制备的低温碱性浸泡液的制造工艺简单，反应稳定，生产效率高，并且无毒、腐蚀性低和废水处理简单等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 碱性 浸泡 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低温碱性浸泡液，其特征在于：包括由下述组份按照重量百分比组成：氢氧化钾10‑20％、乙二醇丁醚5‑15％、表面活性剂2‑6％，其余为纯水。
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