[发明专利]一种基于热塑性弹性体的压敏元件及面载荷分布测量方法

摘要

本发明公开了一种基于热塑性弹性体的压敏元件及面载荷分布测量装置的原理及使用方法。该压敏元件采用在化学腐蚀硅片上形成的周期性金字塔结构负形，将其作为模具在热塑性弹性体平面上形成周期性金字塔结构，通过沉积导电层和刻蚀电路，形成单个或多个导电锥体的选通，测量形变时导电锥体与平面电极之间电容变化，得到施加于上述阵列的载荷及其分布的高灵敏度测量。

主权项

一种基于热塑性弹性体的压敏元件，其特征在于，包括连续或分立的平行条带结构的对电极以及与对电极以正交方式设置的周期性的金字塔锥体阵列，所述的金字塔锥体阵列是由热塑性弹性体表面覆盖导电薄膜得到的导电金字塔锥体，热塑性弹性体的厚度为0.3到3mm，所述的导电薄膜包括金属薄膜、氧化物薄膜、表面金属化薄膜、导电聚合物薄膜中的任意一种，厚度为30到100nm；所述的对电极为层状结构，为上下两层聚合物层中间设置金属或氧化物导电薄膜层，所述上层聚合物厚度为3到10μm，下层聚合物厚度为0.05到0.3mm，所述的条带宽度略大于金字塔锥体底边宽度。