[发明专利]传感器元件、电子设备、以及移动体有效
申请号: | 201410206151.2 | 申请日: | 2014-05-15 |
公开(公告)号: | CN104166013B | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 高木成和 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种传感器元件、电子设备、以及移动体,其能够抑制可动体与基板、或可动体与固定电极的抵接。传感器元件设有:检测电极部;可动体,其与检测电极部对置设置;突起部,在从垂直方向俯视检测电极部时,所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中,并朝向所述可动体而突出,所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。 | ||
搜索关键词: | 传感器 元件 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种传感器元件,其特征在于,设有:检测电极部;可动体,其与所述检测电极部对置设置;突起部,在从垂直方向上俯视观察所述检测电极部时,所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中,并朝向所述可动体而突出,所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。
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