[发明专利]分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器

摘要

本发明提供一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器，包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导，其中，所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍。本发明采用宽度较宽的多模波导与宽度较窄的DBR光栅波导组合设计，可以同时实现单横模激射和单纵模激射；并且具有更大的增益面积及更高的输出光功率，可以提高出光光束的质量和收集效率，且器件更加小巧。本发明的DBR光栅波导通过波导宽度的周期性变化实现反馈，其上下电极可采用整片金属，具有更均匀的注入电流，易于实现激光波长调谐和上电极引线键合，提高了器件的成品率和工作稳定性，同时减少了太赫兹激光的功率损失。

主权项

一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器，包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导，其特征在于：所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍，以同时实现单横模和单纵模激射；所述DBR光栅波导至少包括一个光栅周期，所述光栅周期包括第一光栅波导及第二光栅波导，其中，所述第一光栅波导的宽度小于所述第二光栅波导的宽度；所述第一光栅波导及第二光栅波导包括上接触层及上金属层，其中，与所述多模波导两侧直接相连的第一光栅波导或第二光栅波导的上接触层被去除，并且无上金属层，而其余部位的第一光栅波导及第二光栅波导上的上金属层及上接触层保留。