[发明专利]一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置有效
申请号: | 201410203234.6 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104004888A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 徐刚;詹勇军;熊斌;黄华凛;孙耀明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院广州能源研究所 |
主分类号: | C21D1/26 | 分类号: | C21D1/26;C21D9/46 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 莫瑶江 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置,包括工作平台,工作平台上设有进料区、工作区和下料区;还包括传输机构,传输机构贯通整个进料区、工作区和下料区;在工作区内,所述工作平台上设有热处理室和若干个真空室;热处理室设在所述真空室之间,通过密封装置与真空室分隔;所述热处理室包括工作腔,所述工作腔呈双层结构,包括内腔和外壁,内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层,内腔的内表面涂覆吸热涂层;所述热处理室与真空泵组相连通。本发明能同时处理不同尺寸的工件,装置内的温度可以实现从室温~700℃之间的自由调控,大幅度缩短了退火的生产时间满足批量生产需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 片状 基片上热色 涂层 材料 连续 退火 装置 | ||
【主权项】:
一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置,其特征是:包括工作平台(1),所述工作平台(1)上设有进料区、工作区和下料区;还包括传输机构,所述传输机构贯通整个进料区、工作区和下料区;在工作区内,所述工作平台(1)上设有热处理室和若干个真空室;所述热处理室设在所述真空室之间,通过密封装置与真空室分隔;所述热处理室包括工作腔(50),所述工作腔(50)呈双层结构,包括内腔(501)和外壁(502),内腔(501)和外壁(502)之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层(503),内腔(501)的内表面涂覆吸热涂层(504);所述热处理室包括真空区(4)、热处理区(5)和冷却区(6);在传输机构的上方,所述热处理区(5)内设有若干支位于同一水平面并联排布的热辐射灯管(56);在传输机构的上方或/和下方,所述冷却区内设有若干排冷却管(64);所述热处理室与真空泵组相连通。
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